वैक्यूम फर्नेस में आम तौर पर मुख्य इंजन, फर्नेस चैंबर, इलेक्ट्रिक हीटिंग डिवाइस, सीलबंद फर्नेस शेल, वैक्यूम सिस्टम, बिजली आपूर्ति प्रणाली, तापमान नियंत्रण प्रणाली और बाहरी परिवहन वाहन शामिल होते हैं। सीलबंद फर्नेस शेल को कार्बन स्टील या स्टेनलेस स्टील से वेल्ड किया जाता है, और अलग किए जा सकने वाले हिस्सों की संयुक्त सतहों को वैक्यूम सीलिंग सामग्री से सील किया जाता है। फर्नेस शेल को गर्म करने के बाद ख़राब होने से बचाने और सीलिंग सामग्री को गर्म करने पर खराब होने से बचाने के लिए, फर्नेस शेल को आम तौर पर पानी या हवा से ठंडा किया जाता है। फर्नेस चैंबर सीलबंद फर्नेस शेल के अंदर स्थित होता है। फर्नेस के उद्देश्य के आधार पर, फर्नेस चैंबर अलग-अलग तरह के हीटिंग तत्वों से लैस होता है, जैसे कि प्रतिरोधक, इंडक्शन कॉइल, इलेक्ट्रोड और इलेक्ट्रॉन गन। धातु को गलाने के लिए वैक्यूम फर्नेस क्रूसिबल से लैस होते हैं, और कुछ लोडिंग और अनलोडिंग के लिए स्वचालित डालने वाले उपकरणों और मैनिपुलेटर से लैस होते हैं। वैक्यूम सिस्टम मुख्य रूप से एक वैक्यूम पंप, एक वैक्यूम वाल्व और एक वैक्यूम गेज से बना होता है।